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Variazioni nella distribuzione del drogaggio possono influenzare il funzionamento di un dispositivo microelettronico. La caratterizzazione degli elementi droganti vi darà tutte le informazioni necessarie per essere sicuri che il vostro prodotto abbia la corretta concentrazione drogante per il funzionamento.

Nella tecnologia dei semiconduttori per drogante s'intende un microelemento che viene inserito in un substrato o strato per determinarne la conduttività. Il drogaggio è uno dei processi fondamentali dell'industria dei semiconduttore. Poiché leggere variazioni nella distribuzione drogante possono ripercuotersi pesantemente sul funzionamento di un dispositivo microelettronico, è essenziale assicurare che nel processo di produzione, nella distribuzione, venga utilizzato il giusto quantitativo.

La caratterizzazione dei profili droganti di SGS vi darà tutte le informazioni necessarie per essere sicuri che il prodotto abbia la corretta concentrazione drogante e che funzioni come previsto.

SGS - un fornitore di fiducia

Il nostro istituto di Dresda è uno dei laboratori in servizio da più tempo nel settore della microelettronica. Le nostre strutture hanno una comprovata esperienza in servizi di alta qualità. Eseguiamo:

  • Accurata profilatura di droganti e contaminanti tramite spettrometria di massa per ioni secondari (dinamica classica SIMS e TOF-SIMS).  
  • Misuriamo inoltre droganti elettricamente attivi tramite:
    • Profilatura di resistenza di distribuzione (SRP)
    • Tecniche di scansione con sonda per profilatura 2D

SIMS e SRP sono misurazioni molto sensibili e forniscono gamme molto dinamiche. Sono un perfetto complemento l'uno dell'altro.

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